ขอบแบนของเวเฟอร์ซิลิกอนคืออะไร?
แบนยังอาจเรียกว่าขอบวางตำแหน่งได้อีกด้วย
เวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 2, 4 และ 6- นิ้วนั้นไม่ได้เป็นทรงกลมทั้งหมด แต่จะมีมุมที่หายไป หลังจากที่แท่งซิลิคอนถูกดึงออกด้วยวิธี CZ ก่อนที่จะถูกตัดเป็นเวเฟอร์ซิลิคอน เมื่อกำหนดทิศทางของผลึกแล้ว จะมีการตัดขอบแบนหนึ่งขอบขึ้นไปบนแท่งซิลิคอนด้วยเลื่อยเพชร ดังนั้น เวเฟอร์ซิลิคอนจึงมีขอบตำแหน่ง 1-2 ขอบตำแหน่งยาวอยู่ที่ด้านล่างของเวเฟอร์ และขอบตำแหน่งสั้นจะไม่คงที่ในตำแหน่ง โดยจะเปลี่ยนแปลงไปตามทิศทางของผลึกและประเภทของการเจือปน
ความสัมพันธ์ระหว่างตำแหน่งขอบการวางตำแหน่งกับการวางแนวคริสตัลคืออะไร?
โดยทั่วไปแล้วมีการวางแนวคริสตัลสามประเภทสำหรับเวเฟอร์ซิลิกอน:<111> <110> <100>.
เมื่อมุมระหว่างขอบวางตำแหน่งหลักและขอบวางตำแหน่งรองอยู่ที่ 45 องศา ประเภทเวเฟอร์ซิลิกอนจะเป็นแบบ n<111>เมื่อมุมระหว่างขอบวางตำแหน่งหลักและขอบวางตำแหน่งรองเป็น 90 องศา เวเฟอร์ซิลิกอนชนิด p<100>เมื่อมุมระหว่างขอบวางตำแหน่งหลักและขอบวางตำแหน่งรองเป็น 180 องศา เวเฟอร์ซิลิกอนชนิด n-type<100>. ตั้งแต่<110>การวางแนวคริสตัลไม่ใช่การวางแนวคริสตัลเวเฟอร์ซิลิคอนกระแสหลัก ไม่มีมาตรฐานในการแสดง<110>การวางแนวของคริสตัลสามารถแสดงได้ตามมาตรฐานของซัพพลายเออร์เวเฟอร์ซิลิกอนเอง
ความยาวของขอบตำแหน่งหลักและรองได้รับการแก้ไขหรือไม่
ใช่ เนื่องจากต้องตรงกับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความยาวและตำแหน่งของขอบตำแหน่งหลัก ขอบหลัก และขอบตำแหน่งรองจึงได้รับการแก้ไข
โดยทั่วไป ความยาวของขอบวางตำแหน่งหลักของเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 2- นิ้ว คือ 15.8 มม. ความยาวของขอบวางตำแหน่งหลักของเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 4- นิ้ว คือ 32.5 มม. และความยาวของขอบวางตำแหน่งหลักของเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 6- นิ้ว คือ 57.5 มม. ความยาวของขอบแบนวางตำแหน่งรองของเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 4- นิ้ว คือ ประมาณ 18 มม. และความยาวของขอบแบนวางตำแหน่งรองของเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 6- นิ้ว คือ ประมาณ 22 มม.
