เวเฟอร์บากคืออะไร?
รอยบากคือร่องเล็กๆ ที่ถูกตัดลงไปใต้เวเฟอร์ซิลิคอนโดยตรง ซึ่งมักจะเป็นรูปตัว V หรือ U Notch มีสองฟังก์ชั่น หนึ่งคือการทำเครื่องหมายการวางแนวคริสตัลของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน เช่น<100>, <110>, <111>ฯลฯ ฟังก์ชันอื่น ๆ คือการช่วยให้เวเฟอร์ซิลิคอนสามารถวางตำแหน่งและจัดเรียงได้อย่างถูกต้องในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไป รอยบากจะอยู่ในเวเฟอร์ขนาด 8- นิ้ว และ 12- นิ้ว
Notch มีหน้าตาเป็นอย่างไร?
ขนาดของรอยบากต้องเป็นไปตามมาตรฐาน SEMI อย่างเคร่งครัด ดังแสดงในรูปด้านบน:
1. Vw หมายถึงความกว้างรวมของรอยบาก และขนาดของมันสัมพันธ์กับเส้นผ่านศูนย์กลางและความหนาของเวเฟอร์ซิลิคอน
2. Vh คือความลึกของรอยบาก ซึ่งระบุระยะห่างในแนวตั้งจากขอบของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนไปจนถึงด้านล่างของร่อง โดยทั่วไปจะมีช่วงตั้งแต่ 1.0 ถึง 1.25 มม. Vh เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการรับรองความถูกต้องแม่นยำของรอยบาก
3. AngV นั่นคือ Notch Angle AngV คือมุมของรอยบาก ซึ่งเป็นมุมระหว่างขอบร่องทั้งสองด้าน โดยทั่วไปจะอยู่ระหว่าง 89 องศา ถึง 95 องศา มุมนี้มีบทบาทสำคัญในรูปทรงและการวางตำแหน่งของรอยบาก
4. R1 และ R2 แทนรัศมีของมุมทั้งสองด้านของรอยบาก รัศมีทั้งสองนี้กำหนดความเรียบของมุมร่อง ส่งผลต่อความเข้มข้นของความเค้นของรอยบาก และส่งผลต่อคุณสมบัติทางกลของเวเฟอร์ซิลิคอน
5. Vr คือรัศมีความโค้งที่ด้านล่างของร่อง ซึ่งระบุขนาดของส่วนโค้งที่ด้านล่างของร่อง Vr สามารถเปลี่ยนรูปทรงโค้งและความเรียบของรอยบากได้ Vr ที่ใหญ่ขึ้นสามารถทำให้รอยบากด้านล่างเรียบขึ้น ซึ่งช่วยลดความเข้มข้นของความเครียด
6. การวางแนวรอยบาก: ทิศทางของร่องจะขนานกับการวางแนวคริสตัลเฉพาะของเวเฟอร์ และอนุญาตให้มีการเบี่ยงเบน ±2 องศา