บริษัทสามารถจัดหาข้อกำหนดต่างๆ ให้กับลูกค้าและเวเฟอร์ซิลิคอน SOI คุณภาพสูง (Silicon On Insulator-Silicon On Insulator) ซึ่งเหมาะสำหรับลูกค้าในการใช้งานที่หลากหลาย รวมถึง MEMS, อุปกรณ์ไฟฟ้า, เซ็นเซอร์ความดัน และการผลิตวงจรรวม CMOS เวเฟอร์ SOI เป็นโซลูชันที่ดีสำหรับอุปกรณ์ความเร็วสูงและพลังงานต่ำ และได้รับการยกย่องอย่างกว้างขวางว่าเป็นโซลูชันใหม่สำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูงและ RF SOI เวเฟอร์เป็นโครงสร้างคล้ายแซนวิชที่มีสามชั้น รวมถึงชั้นบนสุด (ชั้นอุปกรณ์) ชั้นออกไซด์ฝังกลาง (ชั้นฉนวน SiO2) และซับสเตรตด้านล่าง (ซิลิคอนจำนวนมาก) เวเฟอร์ SOI ผลิตขึ้นโดยใช้วิธี SIMOX และเทคโนโลยีการเชื่อมเวเฟอร์ เพื่อให้ได้ชั้นอุปกรณ์ที่บางและแม่นยำยิ่งขึ้น ความหนาสม่ำเสมอ และความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ
การแนะนำเบื้องต้นของ SOI Silicon Wafer
Jul 08, 2023ฝากข้อความ